人類對(duì)超聲技術(shù)的研究是從1880年發(fā)現(xiàn)壓電效應(yīng)開始的。1917年法國(guó)研究用超聲波探測(cè)潛艇，法國(guó)科學(xué)家P.Langevin利用石英晶體制成超聲夾心式換能器，在水下進(jìn)行超聲發(fā)射和接收，這是世界上的第一部聲吶；接著鎳、鋁-鐵合金等磁致伸縮換能器出現(xiàn)；五十年代鈦酸鋇壓電陶瓷的研究應(yīng)用；六十年代以后，鉆鈦酸鉛壓電陶瓷推廣使用和不斷發(fā)展，使超聲換能器的研制進(jìn)入了一個(gè)嶄新的蓬勃發(fā)展的時(shí)期。1934有人提出用超聲波進(jìn)行探傷的設(shè)想，但從20世紀(jì)60年代才引起廣泛重視。

自動(dòng)測(cè)量和自動(dòng)控制技術(shù)的發(fā)展特別是微機(jī)技術(shù)的發(fā)展，促進(jìn)了超聲測(cè)量技術(shù)的研究和應(yīng)用。80年代中后期，單片機(jī)技術(shù)的應(yīng)用使超聲波液位計(jì)向高性能、智能化方向發(fā)展。由于使用了單片機(jī)作中央處理單元，系統(tǒng)不僅可以進(jìn)行復(fù)雜的數(shù)學(xué)運(yùn)算和數(shù)據(jù)處理、進(jìn)一步提高了超聲波流量計(jì)的測(cè)量精度，而且還能設(shè)計(jì)出友好的人機(jī)界面，使系統(tǒng)具有參數(shù)設(shè)置、自動(dòng)檢錯(cuò)排錯(cuò)功能以及其他一些輔助功能，大大方便了用戶的操作和使用。單片機(jī)在超聲波液位計(jì)中的應(yīng)用，使超聲波液位計(jì)開始真正進(jìn)入工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域。

雖然超聲波技術(shù)應(yīng)用于液位測(cè)量在國(guó)際上已有較長(zhǎng)時(shí)間，而在我國(guó)從20世紀(jì)90年代才開始發(fā)展。國(guó)內(nèi)與國(guó)外相比，在測(cè)量精度上還有一些差距。目前國(guó)外超聲波測(cè)量液位的精度可以達(dá)到1mm或1%，最小盲區(qū)可達(dá)5-10cm；而國(guó)內(nèi)超聲波液位測(cè)量精度目前只能達(dá)到2mm或1.5%，盲區(qū)最小為30cm。影響精度的因素除了超聲波傳感器本身的制作工藝124外，還與發(fā)射和接收電路的性能以及誤差的修正方法有關(guān)。隨著人們對(duì)引起測(cè)量誤差因素的認(rèn)識(shí)以及解決方法的提出，測(cè)量精度在逐步提高。

近十年來(lái)，基于高速數(shù)字信號(hào)的處理技術(shù)與微處理器技術(shù)的進(jìn)步，以及新型探頭材料與工藝的研究，超聲液位測(cè)量技術(shù)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，顯示出強(qiáng)勁的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，形成了迅猛的發(fā)展勢(shì)頭，已成功應(yīng)用于江河水位、污水處理、化學(xué)和制藥工業(yè)、食品加工、罐裝液位、電廠、鋼廠、酒廠等多種領(lǐng)域，并日益顯示其在非接觸測(cè)量中的巨大優(yōu)勢(shì)。

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