濺射薄膜壓力變送器是近年來(lái)新興的壓力傳感器，被稱為“第三代壓力傳感器”，是國(guó)外20世紀(jì)80年代后針對(duì)新型武器裝備的發(fā)展而開(kāi)發(fā)的傳感器新品種。與擴(kuò)散硅式、差壓電容式、陶瓷壓阻式、金屬應(yīng)變片粘貼式等常見(jiàn)壓力傳感器相比，薄膜式壓力傳感器具有優(yōu)越的耐惡劣環(huán)境性能，受到世界各國(guó)的重視。

中電科技集團(tuán)公司第四十八研究所于上世紀(jì)90年代成功研制了這種新產(chǎn)品，并相繼在航空飛行器、戰(zhàn)機(jī)、坦克、地面運(yùn)載車輛、海上與水下艦艇等重點(diǎn)項(xiàng)目中得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。在民品領(lǐng)域，濺射式壓力傳感器也得到了迅速發(fā)展，成為中、高壓力測(cè)量的主力傳感器，廣泛應(yīng)用于電力、機(jī)械、冶金、能源等領(lǐng)域的壓力測(cè)量。

近年來(lái)，隨著我國(guó)航天技術(shù)的飛速發(fā)展，濺射薄膜式壓力傳感器已成功用于航天領(lǐng)域。在“神七”工程中，中電科技集團(tuán)公司第四十八研究所研制了艙外航天服系統(tǒng)中的兩種壓力傳感器：一種是氧瓶壓力傳感器，它安裝在“神七”艙外航天服的背包和掛包內(nèi)，用于測(cè)量服裝背包和掛包中高壓氧瓶?jī)?nèi)的壓力變化，為供氣子系統(tǒng)及氧瓶的使用提供依據(jù)，確保有足夠的高壓氧氣讓航天員邀游太空；另一種是服裝壓力傳感器，用于測(cè)量服裝內(nèi)航天員呼吸壓力，從而保障服裝內(nèi)環(huán)境壓力滿足航天員工作需求和生命安全需求。

隨著濺射薄膜式壓力傳感器應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)展，其可靠性成為該產(chǎn)品在這些關(guān)鍵領(lǐng)域應(yīng)用的先決條件。由于設(shè)計(jì)因素復(fù)雜，包含多種新型工藝，影響其可靠性的不確定因素眾多。因此，如何通過(guò)可靠性設(shè)計(jì)、分析、試驗(yàn)對(duì)其可靠性進(jìn)行研究，是濺射薄膜式壓力傳感器研究與應(yīng)用中的關(guān)鍵問(wèn)題之一。

針對(duì)濺射薄膜式壓力傳感器的可靠性開(kāi)展研究，建立傳感器可靠性綜合評(píng)價(jià)方法，分別從彈性膜片結(jié)構(gòu)、敏感芯片絕緣耐壓性能、傳感器靜電敏感性能三方面研究提高傳感器可靠性的技術(shù)途徑，為優(yōu)化傳感器的設(shè)計(jì)和工藝提供支持，為濺射薄膜式壓力傳感器的廣泛應(yīng)用提供可靠性保障，同時(shí)對(duì)于提升我國(guó)傳感器的研究與應(yīng)用基礎(chǔ)水平也具有重要意義。

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