壓阻式壓力傳感器原理與壓電式壓力傳感器的區(qū)別
從原理上講,應(yīng)變式壓力傳感器,是外界的壓力（或拉力）引起應(yīng)變材料的幾何形狀（長度或?qū)挾龋┌l(fā)生改變,進而導(dǎo)致材料的電阻發(fā)生變化.檢測這個電阻變化量可以測得外力的大小。
壓阻式壓力傳感器通常是半導(dǎo)體壓敏材料.半導(dǎo)體壓阻式傳感器在受到外力后,自身的幾何形狀幾乎沒有什么改變,而是其晶格參數(shù)發(fā)生改變,影響到禁帶寬度.禁帶寬度哪怕是非常微小的改變,都會引起載流子密度很大的改變,這最終引起材料的電阻率發(fā)生改變。
可見兩種材料雖然都對外力變化呈現(xiàn)出電阻的變化,但原理不同.另外,應(yīng)變式材料對外力的敏感度遠遠低于半導(dǎo)體壓阻材料,后者的靈敏度是前者的約100倍；應(yīng)變材料特性受溫度影響較小,而半導(dǎo)體壓阻材料對溫度敏感。
什么是壓電式壓力傳感器
基于壓電效應(yīng)的壓力傳感器。大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。正壓電效應(yīng)是指：當(dāng)晶體受到某固定方向外力的作用時，內(nèi)部就產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，同時在某兩個表面上產(chǎn)生符號相反的電荷；當(dāng)外力撤去后，晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)；當(dāng)外力作用方向改變時，電荷的極性也隨之改變；晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。逆壓電效應(yīng)又稱電致伸縮效應(yīng)，是指對晶體施加交變電場引起晶體機械變形的現(xiàn)象。用于電聲和超聲工程的一般使用逆壓電效應(yīng)制造的變送器。
什么是壓阻式壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器其核心部分是一塊沿某晶向切割的N型的圓形硅膜片。在膜片上利用集成電路工藝方法擴散上四個阻值相等的P型電阻。用導(dǎo)線將其構(gòu)成平衡電橋。膜片的四周用圓硅環(huán)（硅杯）固定，其下部是與被測系統(tǒng)相連的高壓腔，上部一般可與大氣相通。在被測壓力P作用下，膜片產(chǎn)生應(yīng)力和應(yīng)變。當(dāng)時，徑向應(yīng)力為零值。
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